山东直燃式废气处理设备

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• 1、半导体工艺废气如何处理?

半导体工艺废气如何处理?

1、半导体有机废气处理办法 ***用RTO设备处理 RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。直接燃烧法处理 有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

2、这些废气包括酸碱性废气、挥发性有机废气以及一般的工业废气等，它们首先通过二次配排气风管从制程机台传输到排气支管和主风管。这些管道系统的设计旨在确保废气能有效地被引导至废气处理设备，进行后续的净化处理。经过处理后的废气，最终会从系统中排放到大气中，实现环保排放的目标。

3、废气治理方法：水膜填料塔+碱（酸）液吸收。熔炉废气、发电黑烟 （1）主要来源：五金业、压铸业、铸造业熔炉设备在金属熔化过程中产生的金属粉尘颗粒及燃烧柴油（重油）过程中产生的SO2 、NOX有害气体，发电机工作时燃烧柴油（重油）过程中产生的废气等。

4、VOCs（挥发性有机物）废气治理工艺主要有以下几种：吸附技术：利用活性炭、分子筛等吸附剂将 VOCs 吸附在固体表面，达到去除废气中 VOCs 的目的。燃烧技术：将 VOCs 和空气混合，引燃进行燃烧，将 VOCs 转化成 CO2 和水等无害物质。

5、考虑实验室的固有特性，高效过滤、湿式化学、燃烧法不适用，多***用活性炭、喷淋、光催化的废气处理工艺。

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